Are Circular Shaped Masks Adequate in Adaptive Mask Overlay Topology Synthesis Method?

Saxena, Anupam

New York, NY : ASME (2011)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of mechanical design
Band: 133
Heft: 1
Seite(n)/Artikel-Nr.: 011001

Einrichtungen

  • Lehrstuhl für Prozesstechnik [416410]

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